マイクロアナリシス

- MicroAnalysis : MA -

電子顕微鏡では、真空中の試料に1〜100nmに絞った電子線を照射することにより発生する2次電子、反射電子、透過電子、透過散乱電子、カソードルミネッセンス（可視光、赤外線）、X線などの信号を得ることができます。
マイクロアナリシスは、電子顕微鏡内の固体試料、薄膜試料、粉末試料などから発生したX線や電子線を検出・解析することで、微小領域の化学組成の定性、定量分析、元素の分布や構造解析をするための分析技術です。
Bruker AXS は、シリコンドリフト検出器を用いた高分解能かつ高速元素マッピングが可能なエネルギー分散型X線分析装置（EDS）や、高速カメラを用いた高速結晶方位マッピングが可能な電子線後方散乱回折装置（EBSD）を取り扱っています。

製品ラインナップ

エネルギー分散型X線分析装置 【EDS】

QUANTAX

シリコンドリフト エネルギー分散型X線分析装置
QUANTAX

電子顕微鏡（SEM，TEM）などに用いられるエネルギー分散型X線分析（EDS）に最適な新型第5世代シリコンドリフト検出器（SDD） XFlash®検出器を搭載したシステムです。

電子線後方散乱回折装置 【EBSD】

QUANTAX CrystAlign

電子線後方散乱回折装置
QUANTAX CrystAlign

電子顕微鏡（SEM）などに用いられる電子線後方散乱回折像（EBSD）を高速カメラとESPRITソフトウェアにより高速かつ簡便にEBSD測定・解析できるようにした革新的なシステムです。

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