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μ-XRFは不均一・不平滑・微小試料の高感度非破壊分析のために用いられます。 キャピラリーを用いたX線光学系により極微小領域の高感度分析を高い空間分解能で高速に行うことが可能です。 ほとんどすべての試料を非破壊、あるいは最小限のプレパレーションで分析できます。
M4 TORNADOはどんな方にも最高の分析が簡単にできるように最新の技術を盛り込んでいます。
25μm X線スポットサイズ
最小のスポットサイズで高い空間分解能を誇るX線光学系。
ターボスピードX-Y-Zステージ
ターボスピードX-Y-Zステージにより、さまざまな倍率の高性能・高速マップ分析が可能。
デュアルチューブ
最大2本の管球(オプション)と6種類のフィルターにより余裕の分析。
液体窒素レスSDD検出器搭載
SEM/TEM用EDSで定評のある XFlash® SDD検出器の採用により、液体窒素レスで高カウントレート,高エネルギー分解能測定が可能。
マルチディテクターシステム
最大3台の超高速 XFlash® SDD検出器(オプション)を搭載でき、分析時間をさらに短縮可能。
高性能スタンダードレス定量法
バルク試料やメッキ膜の定量分析を正確に行う独自のファンダメンタルパラメーターソフトウェア搭載。
イージーロードチャンバー
イージーロードと真空チャンバーの組み合わせで迅速で正確な軽元素分析が可能。