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蛍光X線分析装置 (XRF) はエレメントアナライザー (元素分析装置) です。 物質にX線を照射することで発生する試料からの元素情報 (固有X線) を計数し、どんな元素がどれだけ入っているかが非破壊でわかります。 応用分野は多岐にわたり、鉱物,セラミックスなどの酸化物、水溶液・潤滑油などの液体、鉄鋼・アルミニウムなどの金属から、最近では医薬品・食品分野でも活躍しています。 一般に波長分散型 (WD) とエネルギー分散型 (ED) があり、それぞれ特徴がありますが WDXRF は軽元素の感度・精度に優れているといわれています。
長年培われたBrukerのX線分析装置技術がさらに新しい光学系を開発しました。 独自開発の高輝度X線管球や分光結晶は感度と精度を改善し検出限界値を向上します。 しかもこれら高精度化と同時にルーチンワークに適したタッチパネルの採用により操作性が飛躍的に向上しました。
エネルギー分散型微小部蛍光X線分析装置
M4 TORNADO
μ-XRFは不均一・不平滑・微小試料の高感度非破壊分析のために用いられます。 キャピラリーを用いたX線光学系により極微小領域の高感度分析を高い空間分解能で高速に行うことが可能です。 ほとんどすべての試料を非破壊、あるいは最小限のプレパレーションで分析できます。