エネルギー分散型結晶面方位測定装置

D2 CRYSO

D2 DRYSO
D2 DRYSO
シリコンドリフト検出器による“ED-XRD”を利用した
超高速結晶面方位アナライザー

D2 CRYSO は単結晶材料を成長，製造するために必要な中口径～大口径単結晶の結晶面方位決定のための理想的なツールです。
30mm2 の XFlash シリコンドリフト検出器と高輝度X線管球とのコンビネーションにより、卓上型かつ冷却水不要であり、卓越したエネルギー分解能と測定スピードを実現しました。

製品特徴

  • 高輝度X線管球、高エネルギー分解能シリコンドリフト検出器搭載
  • X線管球，検出器ともに冷却水不要のメンテナンスフリー設計
  • 測定試料サイズ ： ～φ385mm（最大）、210mm厚（最大）に対応
  • 測定対象試料
    • 半導体基板 ：　Si、GaAs、Ge、SiC、InP
    • 窒化・フッ化物基板 ：　LiF、CaF2、MgF2、ZnTe
    • 酸化物基板 ：　Al2O3、Gd2Ti2O7、LaAlO3、MgAl2O4、MgO、Mg2SiO4、NdGaO3、SiO2、(K,Na)(Si,Al)4O8、SrLaAlO4、SrTiO3、TiO2、ZrO2
    • 単結晶 ：　Ni、Ag、Au
    • その他 ：　Graphite

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