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微小領域測定に最適化された高輝度X線源 Turbo X-ray Source(μFX) の採用により、従来長時間測定が必要な100μmφ以下での定性・極点・応力測定やマッピング測定の測定時間を大幅に短縮することができます。

高輝度X線源 Turbo X-ray Source を搭載した超高速極微小部X線回折装置です。ファインフォーカスによる高輝度X線でより微小な領域をより短時間で測定できるようになりました。これにより、高機能化・高密度化された先進素材や新デバイスなどでニーズが増えている10μmオーダーの微小領域における定性分析・極点図形・残留応力の迅速測定を可能にしました。

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