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マイクロビーム薄膜材料評価X線回折装置
D8 DISCOVER μHR
SPEED ： 1000倍の高速測定
POWER ： 1000倍の高感度測定
PERFECTION ： 1000のアプリケーションに対応
D8 DISCOVER μHR
X線マイクロビームにて
全ての薄膜アプリケーションに対応
全ての薄膜アプリケーションに対応
多機能薄膜材料評価X線回折装置 D8 DISCOVER に、2次元多層膜ミラー Montel-P Optics、高輝度X線源 Turbo X-ray Source 、UBCコリメータ 等を組み合わせることにより、1台の装置で微小照射面積での全ての薄膜アプリケーションをに対応いたしました。
製品特徴
D8 DISCOVER μHR
D8 DISCOVER μHR
高輝度X線源 Turbo X-ray Sourceを搭載した超高速微小領域薄膜材料評価装置です。2次元多層膜ミラー Montel-P Opticsにより、最小50μmφの平行性の高い高輝度X線マイクロビームでの測定が可能であり、微細化が進む電子材料の微小領域評価が可能tとなりました。さらに検出器に2次元PSPC Hi-STARや一次元高速PSD VANTEC-1を搭載することにより、従来測定に膨大な時間を要した、もしくは測定できなかったような極薄膜や微小領域などの測定を短時間で可能とし、マイクロエリア薄膜材料評価の扉を開きました。
D8 DISCOVER Super Speed 光学系図
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