高輝度薄膜材料評価X線回折装置

D8 DISCOVER Super Speed

Super Speed Solutions
SPEED : 1000倍の高速測定
POWER : 1000倍の高感度測定
PERFECTION : 1000のアプリケーションに対応
D8 DISCOVER Super Speed
D8 DISCOVER Super Speed
薄膜光学系に最適化した高輝度X線源で
薄膜構造評価の高速化を実現

湾曲多層膜ミラー(Goebel Mirror)を基本とした高強度平行ビーム光学系で、プリアライメントされたUBCモジュールを組み合わせることにより、多結晶薄膜、配向薄膜、アモルファス薄膜、エピタキシャル薄膜の多彩な評価が可能です。

製品特徴

D8 DISCOVER Super Speed

D8 DISCOVER Super Speed
D8 DISCOVER Super Speed

高輝度X線源 Turbo X-ray Sourceを搭載した超高速極薄膜材料評価装置です。従来の封入管球式に比べて10〜30倍のX線強度を実現しました。さらに検出器に2次元PSPC Hi-STARや一次元高速PSD VANTEC-1を搭載することにより、従来測定に膨大な時間を要した、もしくは測定できなかったような極薄膜や微小領域などの測定を短時間で可能とし、次世代薄膜材料評価の扉を開きました。

D8 DISCOVER Super Speed
D8 DISCOVER Super Speed 光学系図
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