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湾曲多層膜ミラー(Goebel Mirror)を基本とした高強度平行ビーム光学系で、プリアライメントされたUBCモジュールを組み合わせることにより、多結晶薄膜、配向薄膜、アモルファス薄膜、エピタキシャル薄膜の多彩な評価が可能です。

高輝度X線源 Turbo X-ray Sourceを搭載した超高速極薄膜材料評価装置です。従来の封入管球式に比べて10〜30倍のX線強度を実現しました。さらに検出器に2次元PSPC Hi-STARや一次元高速PSD VANTEC-1を搭載することにより、従来測定に膨大な時間を要した、もしくは測定できなかったような極薄膜や微小領域などの測定を短時間で可能とし、次世代薄膜材料評価の扉を開きました。

New D8 ADVANCE
D2 PHASER
D2 CRYSO
D8 DISCOVER μHR