多次元検出器搭載薄膜材料評価X線回折装置

Hi-STAR

様々な入射側光学系の組み合わせが可能であり、定性から、配向評価、極点図測定などに威力を発揮いたします。
2次元検出器 Hi-STAR，VANTEC-2000は共にリアルフォトンカウンティング検出器であり、非常に微弱なX線を高感度で取り込むことが可能です。
また、従来0次元検出器で見込んでいなかった試料煽り方向の回折線を効率よく検出することができるため、数nmという極薄膜の測定も可能です。
また、最小ビーム径50μmでの微小部薄膜測定が可能となり、ウエファー内やパターニングされた基板等のマッピング測定等に対応いたします。
In-Plane測定、GI-SAXS（反射小角）測定にも対応、従来以上の知見が得られます。

2次元X線回折測定

D8ゴニオメータ

各種高分解能モノクロメータとの組み合わせで、逆格子空間マッピングを数分で測定することが可能となります。
従来、0次元検出器を用い、数〜数十時間かかっていた測定が数分で終了、試料へのフィードバックが迅速に可能となり、研究開発のスピードを飛躍的に向上させます。

高速逆格子空間マッピング

Pathfinder

受光側にもモノクロメータを必要とする高分解能X線回折測定（HRXRD）やX線反射率測定（XRR）、斜入射X線回折測定（GID）などの多次元検出器では困難な測定には、0次元検出器が最適です。

反射率測定

Dual Detector

0次元検出器と1次元検出器を同時搭載した Dual Detector Module では、0次元検出器と1次元検出器の切り替えをソフトウェア上のみで行うことも可能です。

X線源に Self Rotating Anode を採用した高輝度X線源 Turbo X-ray Source がラインナップ。従来の封入管球式に比べて10〜30倍のX線強度を実現しました。さらに検出器に2次元PSPC Hi-STAR や1次元高速PSD VANTEC-1 を搭載することにより、従来測定に膨大な時間を要した、もしくは測定できなかったような極薄膜や微小領域などの測定を短時間で可能とし、次世代薄膜材料評価の扉を開きました。

D8 DISCOVER Super Speed