実装基盤専用 光干渉粗さ計

SP9900

600x600mmの基盤まで対応可能
実装基盤向け 非接触3次元 光干渉粗さ計

SP9900の特徴

最大600x600mmの基盤に対応

SP9900はさまざまな実装基盤における製造工程において、最大サイズとされる約600x600mmの基盤をフルカバーできる実装基盤上にあるトレース、ビア、アンカー、パッドなど様々な形状の管理目的として製作されています。X方向は光学計側を移動する設計により、とてもコンパクトな省スペース設計を実現しています。

自動アライメント機能標準装備

SP9900は自働パターン認識機能"CogNex"を標準装備しています。収縮の大きい実装基盤の自動測定には欠かせない測定前のプリアライメント、ファインアライメント動作を自動で行う事ができます。オペレータは基盤を試料ステージ上に設置した後、設定レシピを読みだすだけで測定が開始される極めて操作性の高いシステムです。

快適な測定速度を実現

SP9900は、基本測定原理として光干渉法を用いています。約30万画素のCCDカメラで取得されたXYZの3次元情報から構成される測定結果は、ポイントやライン情報と比較にならない豊富な情報が含まれています。数秒で測定対象部分の形状をリアル3Dでイメージングし、定量評価を可能にします。

幅広いZ方向測定ダイナミックレンジを提供

SP9900は、全域クローズドループ制御されたZ方向スキャナにより1A〜10mmの驚異的なZ方向測定範囲において安定した計測を提供します。光干渉のもつ特徴により、どのような測定範囲でもかわらず高い測定分解能を提供します。微小領域から広範囲にわたる面粗さやうねりなど特徴ある形状のナノオーダー評価を可能にする最適な計測ツールです。

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