多岐に亘るSPMアプリケーションをサポートするプローブ群

Bruker SPM Probes

Bruker SPMは大変豊富な種類の測定モードを有し、いずれの測定モードにおいても非常に高い性能を保有しています。当社のプローブは、Bruker SPMの性能に合致してその高い性能を引き出し、更に幅広いアプリケーションがカバーできるように豊富な種類を設計・製造しております。

※Bruker AXS NSB(Nano Surface Business)は、高性能なAFM装置群と豊富なプローブの両製品を製造している唯一の会社です。


NCHV 平均値:42N/m, 320KHz, 無コート

従来型汎用Tapping AFM用プローブ
NCHV

長年、標準的ラフネス測定に使用されてきた実績の高いSi単結晶製プローブです。


RTESP 平均値:40N/m, 300KHz, 無コート

ローテーションTapping AFM用プローブ(RTESP) MPP-11100

チップが180°回転した形状により、チップとサンプル間のアングルが対称になります。スキャン方向による形状の誤差が少なくなるために、凹凸の大きな表面の測定に適しています。


Bruker 新SNLプローブ

Si/SiNハイブリッド AFM用プローブ
SNL-10

軟かいバネ定数のシリコンナイトライド製レバー上に、曲率半径の小さなSiプローブをマウントさせた新型プローブです。生体試料等の柔らかい試料の測定に適しています。


FIB2-100S 平均値:42N/m, 320KHz, 無コート

ハイアスペクト用FIB加工AFMプローブ
FIB1-100, FIB2-100

先端をFIBで鋭角化したハイアスペクト対応プローブです。半導体等のトレンチ構造の計測に適しています。

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ブルカー・エイエックスエスは、ナノプローブテクノロジー第167委員会の企業会員です。 ナノプローブテクノロジー第167委員会とは日本学術振興会の設置する61の産学協力研究委員会の1つであり、走査型プローブ顕微鏡(SPM)の基礎・応用技術の組織的発展を目標に活動しています。
167委員会のHPはこちら  http://www.npt167.jp/