大型試料用 光干渉粗さ計

NPFLEX

あらゆる試料サイズにこたえる独特なデザイン設計
大型試料対応 非接触3次元 光干渉粗さ計

NPFLEXの特徴

あらゆる大型試料へのフレキシブルなアプローチを実現

NPFLEXは、大型サンプルの測定を実現する特徴的なシステム構造をもちあわせています。249x304x304mmにわたる試料搭載スペースと、±45°の傾斜調整を可能にする傾斜調整ヘッド構造により、ハイポイドギヤやプラネタリギア、ヨークなどの様々な自動車部品や、医療インプラント品、非球面光学レンズなどの局所的表面形状測定を可能にします。

側壁評価も可能

NPFLEXに用いられる超長作動距離型対物レンズの応用により、光路を90度折り曲げ側壁部の測定を可能にします。エンジンシリンダーの内側面の測定など、従来では破壊検査を余儀なくされていた試料をそのままの状態で観察・測定する事を可能にしました。粗さ情報にとどまらず、クロスハッチ確度等燃費改善を目的とした開発に重要な情報を瞬時に提供します。

高精度 リアル3D情報を数秒でアウトプット

NPFLEXは、基本測定原理として光干渉法を用いています。約30万画素のCCDカメラで取得されたXYZの3次元情報から構成される測定結果は、ポイントやライン情報と比較にならない豊富な情報が含まれています。数秒で測定対象部分の形状をリアル3Dでイメージングし、定量評価を可能にします。

ナノメートルオーダーのZ分解能を提供

NPFLEXは、全域クローズドループ制御されたZ方向スキャナにより1A〜10mmの驚異的なZ方向測定範囲において安定した計測を提供します。光干渉のもつ特徴により、どのような測定範囲でも変わらず高い測定分解能を提供します。微小領域から広範囲にわたる面粗さやうねりなど特徴ある形状のナノオーダー評価を可能にする最適な計測ツールです。

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