汎用走査型プローブ顕微鏡

Innova

Innovaの特徴

高い基本性能と抜群のコストパフォーマンスを提供

小さなSPMですが45mm(X-Y)の試料が測定可能で、基本性能は犠牲にせずに操作性と汎用性・低価格の融合に成功したコストパフォーマンスに大変優れたSPMです。
SPMとしての基本走査モードであるタッピングAFM/コンタクトAFM/位相検出モードなどを備え、試料の電気的特性評価時に有効なダークリフト（後述）も搭載しています。
試料の位置調整用の光学顕微鏡や防音フードも備えた、オールインワンタイプのSPMです。
研究開発・品質管理・教育用に多数ご愛用いただいています。
小さな本体を生かす為に専用の卓上型除振台が用意されており、除振の為の圧力ガスを必要としません。
フラッグシップであるDimension Icon等と同様に高性能のクローズドループスキャナーを標準搭載しておりますので、ドリフトの小さなイメージングが可能です。クローズドループスキャナの特性を生かした試料のマニピュレーションやリソグラフィーも可能です。

TERS(Tip Enhanced Raman Spectroscopy）に対応

反射型TERSに対応しており、専用のAFMの探針サイズの平面分解能でS/N比の高いラマン分光が可能になります。形状や他の物性値とRaman Spectroを対比する事で新たな知見を得る事ができます。
(対応ラマン分光器についてはお問い合わせ下さい)

高性能クローズドループスキャナー標準搭載

高性能クローズドループスキャナーにより、任意の場所を正確に選択し拡大（縮小）スキャンができますので、走査位置やサイズを変更される場合に有効です。平面９０㎛高さ７.５㎛の走査レンジがありますので幅広い表面形状を正しくイメージングできます。

卓越した新機能・・・・ダークリフト（特許機能）

Innovaは形状観察、物性あるいは電気特性測定等豊富な測定モードを有しています。 電気特性では、コンダクティブAFMと走査型キャパシタンス顕微鏡（SCM）がありますが、特筆すべきはカンチレバーの変位検出用レーザーによる無用な電気信号を回避できる“ダークリフトモード”を標準搭載している点です。
一般的なSPMでは、カンチレバーの変位検出用のレーザーによって試料に励起される暗電流などの影響を回避できませんでしたが、Innovaではダークリフトモードの採用でレーザーを止めた状態で、試料表面を正確にスキャンしながら電気特性を計測できます。

省スペース・容易な操作と拡張性・低価格

Innovaは持ち運びが可能なサイズに汎用的な測定モードや光学顕微鏡を装備していますので、専用の卓上型除振台をご利用頂く事で、設置場所の選択肢が広いSPMです。またSTM/磁気力顕微鏡（MFM）/表面電位顕微鏡(SPoM)/コンダクティブAFM(CAFM)/キャパシタンス顕微鏡（SCM）/フォーススペクトロスコピー/溶液中観察/昇温オプションなど幅広い拡張性があります。
TERS(反射型チップ増強型ラマン分光)にも対応しており、試料の局所ラマン分光を高いS/N比で行う事ができます。（対応ラマン分光器についてはお問い合わせ下さい）
高額なSPMと同様の操作性や性能を発揮する一方で、低価格を実現したSPMです。

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ブルカー・エイエックスエスは、ナノプローブテクノロジー第167委員会の企業会員です。 ナノプローブテクノロジー第167委員会とは日本学術振興会の設置する61の産学協力研究委員会の１つであり、走査型プローブ顕微鏡(SPM)の基礎・応用技術の組織的発展を目標に活動しています。
167委員会のHPはこちら　 http://www.npt167.jp/