ナノ表面分析システム
AFM（原子間力顕微鏡）・SPM（走査型プローブ顕微鏡）
・3次元光干渉粗さ計・スタイラスプロファイラー・
トライボロジー／メカニカル試験装置


ナノ表面分析システムでは、原子像観察が可能な高分解能AFM（原子間力顕微鏡）から大型試料観察や機械特性・電気特性等の様々な特性をナノスケールで計測可能なSPM（走査型プローブ顕微鏡）、更に広範囲なエリアの粗さ・形状を高速非破壊で計測可能な3次元白色光干渉粗さ計（オプティカルプロファイラー）や、スタイラスプロファイラー、トライボロジー／メカニカル試験装置で材料表面の検査・評価を行う装置を取り扱っています。
特に AFM/SPM 装置では、これまでたくさんの新技術を提供しており、大変多くの研究者の皆様が計測で得られたAFM イメージあるいはSPMイメージを使って論文発表等をいただいております。他の顕微鏡では得られない液中での高分解能AFMイメージはライフサイエンスでは大変重要な情報を与えてくれますし、半導体等の基盤測定では非常な微細な粗さをAFMは計測してくれます。ポリマー試料では、ガラス転移温度での物性の変化をSPMモードが様々な情報を提供してくれます。また、半導体分野ではP/Nジャンクション、ドーパント濃度等非常な有用な情報の取得をSPMは可能にしており、更に今日はSPMによって機械特性の測定を短時間で可能にしました。正にSPMは驚異的進化を遂げています。
下記に当社の最新のAFM（原子間力顕微鏡）/ SPM（走査型プローブ顕微鏡）をはじめとした製品ラインナップをご紹介させていただきます。

ナノ表面分析システム製品ラインナップ

原子間力顕微鏡システム
高分解能・小型試料用SPM(走査型プローブ顕微鏡)
MMAFM-8型SPM
MMAFM-8は、世界最多の納入実績を誇るMMAFM型高分解能SPMに、次世代型高性能SPMコントローラー（NanoScope V）を搭載し、更に新技術のPeakForce TappingAFM技術によりワンプッシュオペレーションを可能にしたScanAsyst機能及び定量的機械特性マッピング機能のPeakForce QNMを搭載した画期的なSPMです。
TERS機能拡張可能・汎用SPM(走査型プローブ顕微鏡)
INNOVA型SPM
小型ながら多くの機能を満載したAFMで、コストパーフォーマンスに大変優れています。一般的なAFM走査技術は勿論、ダークリフト（電気特性評価時に有効）・３軸センサー付きのスキャナなど最新の技術も搭載しています。光学顕微鏡・防音フード一体型です。TERSにも対応しています。
汎用大型試料用SPM(走査型プローブ顕微鏡)
Dimension Edge型SPM
高性能クローズドループスキャナーを搭載した大型試料対応SPMです。高い操作性と大型試料に対応しながら、非常にコンパクトな設計に成功し、従来製品と比較して大変安価な提供を可能にしました。高い基本性能と大変高いコストパフォーマンスを持つSPMです。
高性能大型試料用SPM(走査型プローブ顕微鏡)
Dimension Icon型SPM
大型試料測定、高分解能、操作性、多機能、拡張性のすべてのニーズに合致し、従来製品を遙かに凌駕したSPM(走査型プローブ顕微鏡)です。超低ノイズ・低ドリフトのクローズドループスキャナー搭載。更に新技術のPeakForce Tapping AFM技術によりワンプッシュオペレーションを可能にしたScanAsyst機能及び定量的機械特性マッピング機能のPeakForce QNMを搭載可能にした画期的SPMです。
世界最速・高分解能　大型試料用SPM（走査型プローブ顕微鏡）
Dimension FastScan型SPM
分解能やフォースコントロールを損なうことなく、非常に高速なイメージングスピードを達成した初めてのAFMです。測定手順も煩雑にならず、高価な投資も必要としません。発売以来皆様に高く評価いただいているDimension Icon® AFMシステムをベースとし、チップスキャン方式を採用しており、大口径から小さなサイズまでサンプルの大きさに制限されず、大気中、液中ともに測定ができるため、高性能AFMで得られる高分解能イメージが1台のシステムでただちに得られます。サンプル上で測定個所を探すときは125Hz以上の高速で測定可能で、大気中、液中にかかわらず数秒で1イメージが取得できるので、Dimension FastScan® はAFMユーザーの経験そのものを再定義することになるでしょう。
ライフサイエンス用SPM(走査型プローブ顕微鏡)
（倒立型光学顕微鏡一体型）
BioScope Catalyst型SPM
生物顕微鏡（倒立型顕微鏡）と完全に一体なAFM(原子間力顕微鏡)で、光学的な限界を超えた３次元の高分解能観察と各種機械的特性のマッピングが可能です。次世代型SPMコントローラ（NanoScope V）で制御しますのでワンプッシュオペレーションなど最新の走査技術が利用可能で、AFMに馴染みのない研究者であっても容易に操作する事ができます。またTERSへの拡張も容易にできます。
AFM/SPM用プローブ
AFM/SPM用プローブ
Bruker SPM Probes
マイクロラフネスからトレンチ構造まで様々な形状測定するプローブや、電気特性を測定するための金属コートプローブ、あるいは硬度計測用ダイヤモンドプローブ等、様々なアプリケーションを可能にするAFM/SPMプローブを提供しております。
Bruker AFM/SPM Probes Global Site はこちら
※Bruker AXS NSB(Nano Surface Business)は、高性能なAFM装置群と豊富なプローブの両製品を製造している唯一の会社です。
白色光干渉粗さ計
64ビット対応　高性能光干渉粗さ計
Contour GTシリーズ
64ビット対応の高性能光干渉粗さ計です。操作性の向上、充実したデータレポート機能、2000枚を超えるデータステッチング計測の実現、膜厚計測、加熱、冷却環境で測定可能とした対物レンズラインナップ等、研究開発から生産管理にいたる様々な用途に答える形状情報を、高精度かつ非接触3次元で高速に提供します。
MEMSデバイス動的計測対応 光干渉粗さ計
In Motion
ストロボ光源と白色光干渉技術の組み合わせによりMEMSデバイスの動的観察を可能にした画期的なシステムです。30万画素を超えるデータから構成される3次元情報は、全体的なうねりや、極所粗さ情報などMEMSデバイスの実駆動時における様々な情報をリアルに提供し、MEMSデバイスの耐久性や寿命などの課題解決に重要な情報をタイムリに提供します。
大型試料用 白色光干渉粗さ計
NPFLEX
光学部品、自動車部品、インプラント品、切削加工部品 等　評価の為に切りだしや加工を好まない試料をそのまま計測できるワイドステージ構造を実現した白色光干渉粗さ計です。また±45度まで計測ヘッドを傾けられるシステム構造は、あらゆる角度から高精度計測を実現します。
（試料搭載可能スペース：304mmD　x　304mmW　x　350mmH）
リードアングル評価対応 大型試料用 光干渉粗さ計
NPFLEX-LA
大型サンプルの測定を実現する特徴的なシステム構造をもちあわせています。249x304x304mmにわたる試料搭載スペースと、±45°の傾斜調整を可能にする傾斜調整ヘッド構造により、ハイポイドギヤやプラネタリギア、ヨーク、などの様々な自働車部品や、医療インプラント品などの局所的表面形状測定を可能にします。
実装基盤専用　光干渉粗さ計
SP9900
最大 610mm x 610mmサイズまでのさまざまな実装基盤の自動計測を可能にした光干渉粗さ計です。CogneX搭載により、フィデューシャルアライメントやプレアライメント動作を行いテキスト形式でインポートされる任意指定箇所の自動測定を可能にします。ライン&スペース、ビア、アンカー、リセッション計測を高性能かつ高速に行う品質管理用専用システムです。
スタイラスプロファイラー
汎用触針式プロファイラー
Dektak 150
40年間にわたり触針式プロファイラーの技術革新の頂点に立つDektak 150は、業界最高レベルの性能、測定再現性、プログラマビリティ、低触圧による測定、および豊富なデータ解析機能を備え、研究開発から生産ラインでの品質管理まで、幅広い用途でお使い頂けます。サンプルサイズ150mm径対応で、ステップハイト測定再現性6Å以下（オプションで4Å以下）を実現します。
大型自動原子間力顕微鏡
CMP & Etch評価用AutoAFM(全自動原子間力プロファイラー)
Dimension AFP型AFM
Dimension AFPはCMPやEtchプロセス評価用の全自動AFMです。最長25mmまでのプロファイリング機能に加え、AFMならではのラフネス測定、通常のAFMでは困難だった65nm以下の狭い線幅での正確な深さ測定にも対応可能です。また、300mmウェハに対応し、自動AFMプローブ交換・プローブ先端形状評価機能、ホストとの通信機能も装備できるため、製造ラインの自動化にフルに対応いたします。
側壁計測可能・AutoAFM(自動原子間力顕微鏡)
InSight 3D 型AFM
InSight 3D AFMは深さのみならず側壁の形状が測定可能です。これにより1度のスキャンでTop/Mid/Bottom CD、SWA(Side Wall Angle)、LWR/LER(Line Width Roughness/Line Edge Roughness)、SWR(Side Wall Roughness)といった様々なパラメータを取得できます。最新設計のハードウェアと測定アルゴリズムにより32nm以下の狭い線幅にも対応可能です。また、レーザーを照射しないためレジストを非破壊で測定可能で、かつNISTトレーサブルなCD/Depthスタンダードを採用していますのでTEMに変わる新しい標準器としてもご使用いただけます。 従来にない画期的な半導体用AFMシステムです。
トライボロジー／メカニカル試験装置
材料のメカニカル/トライボロジー特性　多機能試験装置
CETR-UMTシリーズテスター
UMTシリーズは、トライボロジー・腐蝕・摩擦・摩耗検査を異なる荷重範囲で行うことができ、1台のプラットフォームを使いながらモジュールを交換することで様々なトライボロジーテストが可能です。
ナノインデンテーション/マイクロインデンテーション、ナノスクラッチ/マイクロスクラッチ　試験装置
CETR-Apexテスター
ナノメカニカル試験装置CETR-Apexは交換が簡単な6つのメカニカルヘッド、高倍率顕微鏡、イメージングモジュール（AFMと3Dスタイラスプロファイラー）がついて、短時間でヘッド交換が可能です。
ブルカー・エイエックスエス
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ブルカー・エイエックスエスは、ナノプローブテクノロジー第167委員会の企業会員です。 ナノプローブテクノロジー第167委員会とは日本学術振興会の設置する61の産学協力研究委員会の１つであり、走査型プローブ顕微鏡(SPM)の基礎・応用技術の組織的発展を目標に活動しています。
167委員会のHPはこちら　 http://www.npt167.jp/