MEMSデバイス静・動的計測対応型非接触3次元 光干渉粗さ計

In Motionは、MEMSデバイス駆動部の静・動的形状評価目的として製作された形状測定システムです。MEMSデバイスの開発工程において、常に課題とされるMEMSデバイスの安定性や長寿命化、実デバイス環境での動作確認等、貴重な情報を30万画素からなる3次元イメージで提供する業界標準システムです。

インプレーン・アウトプレーン双方に対応

In Motionは、基本測定原理として光干渉法を用いています。光源をMEMSデバイスの駆動速度と同期させてストロボ照射する事で、任意の位相時における形状を静的な状態に疑似的において測定を行います。これによりインプレーン・アウトプレーン問わずあらゆる駆動状態において動的な測定を実現する事ができます。任意位相毎に測定した結果をアニメーション処理（連続再生）する事で、MEMSデバイスの3次元動的観察を可能にします。

30万画素をこえる精密3次元イメージ計測

In Motionは、640x480画素の高速CCDカメラを装備しています。これにより約30万画素で一枚の測定結果を3次元で観察しています。MEMSデバイスの全体的なうねりや大きな形状変化を定量的に確認すると同時に、極所的な粗さや形状変化の定量評価が可能となります。

実環境下におけるMEMSデバイスの測定を実現

In Motionに環境制御用の対物レンズを接続する事で、MEMSデバイスのパッケージングされた実環境下における測定を可能にします。デバイスがパッケージング状態とむき出し状態では周囲の空気抵抗などで駆動傾向が若干異なる事があります。パッケージング状態での駆動を観察できる事で、研究開発への重要な情報を提供します。

不規則な形状変化にもフレキシブルに対応

In Motionに標準装備されたアニメーション処理ソフトを用いる事で、不規則な形状変化にも測定を可能にします。 数秒間の測定中は形状が安定している試料であれば、不規則に変化する試料を連続自動測定し、測定結果の連続再生処理を行う事で、溶液が乾いていく様子や生物が動く様子などの観察が可能となります。