高性能大型試料用走査型プローブ顕微鏡

Iconは２０年以上のSPM開発・製造の経験で蓄積された信頼性の高い技術と最新技術を統合して、お客様のたくさんのご要望に合致した性能を持つSPMです。大型試料対応でありながら、ハードウエア面ではこれまで以上の高分解能と低ドリフトを実現し、測定技術面では、従来成しえなかった新測定モードPeakForce Tappingを搭載しています。その結果下記に示すScanAsyst機能やPeakForce QNM機能も実現しました。操作性、性能、機能、拡張性すべてにおいて他に類をみないトータルソリューションを提供します。

新機能　ScanAsyst　（ワンプッシュオペレーション）

“測定エリアを決めたら、後は勝手に測定してくれるAFMがほしい“という皆様のご要望にお答えした新機能です。従来のようにプローブを替える毎のチューニング作業もまったく不要です。
このScanAsystは、操作性の向上だけではなく、性能面でも従来のAFMより格段の進歩を遂げています。従来のTappingより高分解能で、かつプローブの摩耗も最小限に抑えてくれます。新しい測定モードと進化したSPMコントローラの融合によりこれらの機能・性能を実現しました。

新機能　PeakForce QNM (機械特性測定機能)

PeakForce Tapping機能により全測定ポイントでフォースカーブを計測できるために、リアルタイムでそれらのフォースカーブから機械特性を計測します。結果、形状のイメージングと全く同時に吸着力やスティフネス、エネルギー散逸等、様々な機械特性の計測を可能にした機能（オプション）です。

高性能クローズドループスキャナー

Zセンサーノイズが０．３５Å以下のクローズドループスキャナーです。従来では成し得なかった性能を実現しました。更に特筆すべきことは、この性能とIconの本体との組み合わせで、サーマルドリフトを２Å/分を実現しています。高分解能測定あるいは再現性を要求する繰り返し測定のニーズに大変重要なスペックです。今後ますます平坦化する試料表面の測定ニーズをIconは十分に満足させることが可能です。

従来製品では実現できない幅広いソリューションを提供

大型試料に対応しながら、高分解能と豊富な機能を搭載可能にしました。例えば、大気中で加熱・冷却（-30℃〜２５０℃）を可能にしました。従来では大型ステージは対応不可能でした。様々な電気特性測定機能を搭載可能ですが、IconはAFMに使用されているフィードバック用レーザ自体がサンプルを励起して引き起こすアーティファクトの影響を排除できる“ダークリフトモード”も可能にしています。液中測定機能は言うまでもありません。従来は高分解能測定、段差測定、あるいは大型試料測定をカバーするためには、少なくとも２種類以上のSPMが必要でしたが、Iconは１台だけでカバーできます。

最新型GUI採用

様々な新機能やニーズに対応するには、従来のGUIでは不十分です。Iconでは大型３０インチの液晶モニターに最もユーザーの皆様が容易に操作いただけるように、新しいGUIを採用しました。常に使用するメニューは固定の場所に常時表示され、ユーザーによって使用条件が異なるパラメーターはユーザーのニーズを満たす内容に限定されたものが表示可能になっています。そして、測定中のデータは見やすいように、画面中央表示されるように設計されています。