汎用触針式プロファイラー

40年間にわたり技術革新の頂点に立つDektak150は、従来の表面形状や段差等の2D計測から、3Dマッピング、薄膜のストレス解析まで、高精度で再現性のある測定を実現します。D150の最新技術、小スペース設計、拡張性の高さという特徴は、生産ラインから研究開発のエンジニアに優れた成果を提供します。

様々な試料に対応する豊富なステージ

様々な試料形状に対応するステージを選択できます。手動ステージは100x100mmのストロークを持ち360度回転が可能です。150mmのストロークを持つ自動ステージは1μmの位置再現性の性能を持ちます。また真空チャックを備えた200mmウェハー対応ステージや、太陽電池等の6インチ角自動ステージも選択可能です。自動ステージにおいては、200か所以上をプログラム制御で自動測定が可能です。標準で55mmのスキャンレンジをもち、ステッチングオプションにより150mmまでのスキャンが可能になります。

高精度で再現性のある最新の性能

ステップハイトの分解能は1Å、測定再現性は標準で6Å、オプションにより4Åという測定再現性を実現します。また、Z方向測定レンジは標準で524μm、オプションで1mmまで拡張可能です。高精度測定を実現するLIS 3（Low-Inertia Sensor3）は、1mgから15mgという低触圧を実現します。さらにN-Lite Sensorオプションにより0.03mgという超低触圧を可能にします。

豊富な解析機能と小スペース設計

豊富な解析機能をBruker Visionソフトウェアは、ボタンひとつでのテスト開始から、複数のスキャンのヒストグラム等の解析データからの自動判定まで、様々な場面に対応可能です。オプションによりストレス測定、3Ｄマッピング、ステッチング機能も使う事が出来200以上の解析機能を持っています。またプロファイラー部は292mm(W)ｘ508mm(D)という省スペース設計です。

様々なアプリケーションに対応

高性能、優れた測定再現性、豊富なステージオプション、省スペース、豊富な解析機能で様々なアプリケーションに対応します。ウェハー評価、太陽電池セル評価、透明/不透明の薄膜/厚膜評価、MEMS評価、マイクロレンズ、機械部品、ハイアスペクト比のトレンチ構造等が幅広い分野の測定ニーズに対応します。

＊日本国内向けのDektak 150を含むDektak製品は、総代理店である株式会社アルバックを通じ販売、サポートをさせて頂いております。

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