大型自動原子間力顕微鏡

Dimension AFP

プロファイリングと高アスペクト比の深さ測定に対応した全自動AFM

Dimension AFPは半導体、データストレージ、LEDの開発や製造ライン向けの全自動AFMです。 CMPプロセスにおけるプロファイリング、Etch Depthを高い再現性で測定できます。　300mmウェハに対応し、自動プローブ交換・プローブ先端形状評価機能、ホストとの通信機能も装備できるため、全自動の製造ラインに対応します。

Dimension AFPの特徴

  • 最長25mmまでのプロファイリング測定が可能
  • 最新の測定技術により、従来のAFMでは実現できなかった高アスペクト比の深さ測定を高い再現性で実現。65nmの線幅に対応
  • 自動プローブ交換・Tip Qualification(プローブ先端形状評価)機能・ホスト通信機能によりフル自動化ラインに対応
  • 非破壊で材料を選ばない測定が可能　レジスト等を変形させることなく評価できます
  • 300mm Dual FOUP対応
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ブルカー・エイエックスエスは、ナノプローブテクノロジー第167委員会の企業会員です。 ナノプローブテクノロジー第167委員会とは日本学術振興会の設置する61の産学協力研究委員会の１つであり、走査型プローブ顕微鏡(SPM)の基礎・応用技術の組織的発展を目標に活動しています。
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