生産管理マスター用 白色光干渉粗さ計

ContourGT X8は、ContourGTシリーズの最上位機種です。リファレンスシグナル機構により、装置自身が自己制御をおこなうことで、計測機器のマスターとしての運用を実現します。複数台の装置運用を求められる環境では装置間の校正や相関管理など、とても重要で、時間を要する作業を軽減します。絶大な威力を発揮するハイグレードシステムです。

驚異的な測定安定性を実現

ContourGT X8は、リファレンスシグナル機構を標準搭載する事で、驚異的な測定安定性を実現します。
長期間の連続測定時における測定結果のドリフト現象を完全にシャットアウトし、たとえば、PSS（パターンド・サファイア・サブストレート）の高さ測定結果では、2日間の連続運転による再現性結果が3σ≒5nm 相当（約1umの高さ形状）を実現しています。

業界最速の測定速度を提供

ContourGT X8は、リファレンスシグナル機構を標準搭載する事で、さらなる測定速度の向上を実現します。
Zスキャナに対して水平に配備されたレーザー信号の波形情報を常時確認しながら垂直走査する事で、高速スキャン時でもCCDカメラに投稿される信号とリンクして正確にZ方向の高さ情報を獲得する事が可能です。100umオーダーのZ方向スキャンを1秒でこなす驚異的な実力を発揮します。

自己校正能力による安心した設備運用をアシスト

ContourGT X8は、リファレンスシグナル機構を標準搭載する事で、絶えずZ方向の移動量を校正しながら測定を行います。校正作業をまったく必要としないこの画期的な機構は、設備運用におけるオペレーターの作業を軽減するだけでなく、測定結果の信頼性を確実なものとします。“マスター”システムとしての運用を確実なものにします。

保障期間18カ月

導入後も安心してご使用して頂く為に、ContourGT シリーズはすべて納入後 18ヵ月の保障期間を提供します。